反应等离子体活性气体主要有02、H:、NH3、CO2、H20、SO2、H√H20、空气、甘油蒸气、乙醇蒸气。在低温下使用等离子活性气体时,cobplasma清洗等离子处理设备使材料表面聚合形成一层沉积层,沉积层的存在有助于提高材料表面的结合能力。使用低温等离子时由于上述四种作用同时出现处理耐火塑料,