在清洗过程中，附着力比较好的固化剂高能电子与反应性气体分子碰撞使其解离或电离，利用产生的各种粒子撞击被清洗表面或与被清洗表面发生化学反应，从而产生并有效去除各种污染物。材料本身的表面。诸如改进的表面润湿性和改进的薄膜附着力等特性在许多应用中都非常重要。等离子清洗后，设备表面干燥，无需再加工，提高了整
