表面微观结构通过低温等离子体对材料表面改性前后表面微观结构的观察分析，表面改性后的效果是怎样的可以观察到低温等离子体对材料表面作用的深度和改性前后表面微观结构的变化情况。目前常用扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、原子力显微镜（AFM）和高分辨透射电镜（HRTEM）等分析观察低温等离
