等离子体有大量的紫外光，加热附着力减弱能量被聚合物吸收后，会产生化学活性自由基，这些自由基很容易与等离子体中的气体发生反应，产生挥发性气体增加。在等离子体中，快离子与中性粒子碰撞后产生的中性自由基不断地与样品表面碰撞，以激发态模式下的中性粒子之间以动能、振动解离、电荷交换等方式进行能量传递。动能和振
