从图1中可以看出，附着力系数可以大于1吗等离子体设备的三大条件是真空环境（真空单元、真空探测器和腔体的密封）、高能（射频电源、温度和工艺气体）和介质（腔体、电极和托盘）。那么等离子清洗机的维护保养应从以上几个方面进行。根据养护项目，周期分为日、周、月、半年、年和2~3年，如表1所示。综上所述，附着力
