控制部分主要电气元件有:射频功率真空泵,真空计,计时器,流量计,绿色电源指示灯,带蜂鸣器,功率调节器,空按钮(自锁),一个按钮(自锁),天然气第二个按钮(自锁),高频电源按钮(自锁),真空泵按钮(自锁),总功率旋钮开关。按钮(自锁)、真空泵按钮(自锁)、主电源旋钮开关。由于按钮操作的真空等离子清洗机