等离子体发生器技术简单，金属plasma活化机操作方便，无废弃物处理，对环境无污染。但它不能去除碳和其他非挥发性金属或金属氧化物碎片。等离子清洗机去除光刻胶是常见的，在等离子体反应系统中输入少量氧气，在强电场的作用下产生等离子体，光刻胶迅速氧化成挥发性气态物质。等离子清洗机在脱胶过程中具有操作方便、
