氧气等离子体形成过程即可用下列6个反应式来表示：O2——O2 + e （1）O2——2O （2） O2 + e——O2 + e （3） O2 + e——O2 + hv + e （4）O2 + e——2O + e （5） O2 + e——O + O+ + 2e （6） 第一个反应式表示氧气分子在得到外
