4、是维护保养真空腔和真空发生系统：（1）真空腔是加工工件的工作区域，天津等离子清洗机设备价格使用一定时间后，空腔内会残留部分污物，这些污物附着在电极板和空腔壁上。清洗方法：连续使用一定时间后，用无尘布(纸)沾酒精清洗所有的电极板和腔壁，保持腔壁清洁。（2）观察窗是指工作人员在工作时观察真空等离子表
