下面介绍逻辑集成电路制造中良率的概念，湖州等离子设备制造以及良率提高的过程， 并讨论plasma设备等离子体蚀刻工艺对良率提升的关键作用。半导体生产制造的每个环节，都有可能引起产品的失效。在制造厂从晶圆下线到制造完成，一般会经历几百道工艺，制造厂关心的是在一片晶圆上有多少个晶粒符合出货要求，良率就是
