随着半导体规模接近其物理极限，安徽等离子处理设备供应新材料、新器件结构和新工艺不断被引入集成电路制造工艺中，以延续摩尔定律并使器件尺寸更小......随着高介电常数材料、锗硅载流子传输增强材料、金属栅极材料、SiCoNiTM预清洗工艺、分子束外延生长工艺等，等离子清洗机中气体材料的种类和数量不断变化
