通常，流水线等离子蚀刻设备添加弱负气体会导致负偏压急剧增加。对于电负性气体放电，小的流量变化对 VDC 的影响很小。 2.1.2.2 大气压也会影响VDC，高压，更多的分子、原子、电子碰撞产生新的电子和离子，所以增加大气压会增加更多的自由电子，负偏压增加。伙伴在表面上，新的电子和离子随着压力的增加而
