等离子蚀刻机的检测操作和处理方式都在这里等离子体蚀刻机的原理是在真空状态下，氟碳表面活化剂利用射频辐射氧气、氩气、氮气、四氟碳等气体产生高度活性的离子与器件反应形成挥发性化合物，然后通过真空系统去除这些挥发性物质。1. 确认万用表工作正常，量程设置为200mV.2。2 .冷探头接电压表的正电极，热探
