光束校正器：校正光束的入射方向，玻璃等离子除胶设备使激光束尽可能平行。能量操纵器：控制最终撞击硅片的能量。曝光不足或曝光过度会严重影响图像质量。光束形状设置：将光束设置为圆形和环形等各种形状。不同的光束条件具有不同的光学特性。快门：在不需要曝光时阻止光束撞击晶圆。能量检测器：检测光束的入射能量是否满
