常见的产生辉光放电的等离子体源，表面亲水性更易清洗有射频辉光放电和脉冲辉光放电等。辉光放电通常在电极空间形成明亮而又稳定的放电外貌，而且对光源强度要求比较高，适合作为灰暗环境下进行精准操作的等离子体光源。由于辉光放电具有均匀度高、功率密度适中且温度低的特点，因此在薄膜制备和材料表面处理等领域具有广泛
