硫等离子体对GaAs样品的钝化不会造成明显的杂质污染，干法刻蚀机等离子体特别是钝化效果相对稳定，更适合于GaAs光电器件的钝化过程。用射频等离子体清洗剂对GaAs基板表面进行干法钝化。射频等离子体的钝化效果受衬底温度、溅射功率和降解温度的影响。通过优化硫等离子体的钝化条件，样品的发光强度提高了71%
