当在线等离子清洗中使用 AR 和 H2 的混合物数十秒时，二氧化硅表面改性氨基污染物会发生反应，产生挥发性二氧化碳和水。较短的清洁时间可去除污染物，而不会损坏键合区域周围的钝化层。因此，在线等离子清洗可以有效去除键合区的污染物，提高键合区的键合性能，提高键合强度，显着降低键合失败率。 3、作为铜引线
