氩本身是一种惰性气体，堆焊及表面改性焊接专委会等离子态的氩气不与表面反应，其过程为氩等离子通过物理溅射来净化表面。等离子体物理清洗并不会形成被氧化不良反应，保持被清洗物化学纯净，腐蚀各向异性，缺点是对表面有很大的损伤和热效应，选择性差，速度低。等离子清洗机可以活化印刷电路板、环氧树脂、软硬质及聚四氟
