氩和氦性质稳定，涂料级EVA树脂的附着力且放电电压低(氩原子电离能E 15.57 eV)容易形成亚稳态原子，一方面，等离子体清洗机利用高能粒子物理功能清洗被氧化或还原的物体，Ar +轰击污垢通过真空泵带走形成挥发性污染物，避免了材料的表面反应;另一方面，氩容易形成亚稳态原子，与氧、氢分子碰撞时发生电
