反应室内的气体辉光放电，物质的亲水性是什么意思包括离子、电子、自由基等活性物质的等离子体，通过扩散吸附到介质表面，与介质表面的原子反应形成挥发性物质。同时，高能离子在一定压力下对介质表面进行物理轰击和蚀刻，去除再沉积的反应产物和聚合物。介质层的刻蚀是通过化学和物理的共同作用完成的。等离子体刻蚀原理作
