7NM以下场效应晶体管中硅衬底的蚀刻，碳纳米管亲水性还是疏水性5NM以下碳纳米管或石墨烯器件的准确无损伤蚀刻。。近年来，对特殊性能等离子（点击查看详情）本体聚合物膜的研究一直在积极进行。还有一代等离子表面处理机。对表面保护膜、光学材料、电子材料、分离膜、医用材料等的等离子体聚合表面改性进行了广泛的研
