等离子体蚀刻机是工业生产半导体行业必不可少的设备： 等离子体蚀刻机采用高密度2.45GHZ微波等离子技术，pvc底涂胶附着力等级对半导体制造中的晶片进行清洗、去胶和等离子体前处理，微波等离子体清洗、去胶具有很高的活性，而且对器件无离子损伤。等离子体蚀刻机是微波等离子处理技术的新产品，圆片灰化设备成本
