[WILLIAMS，微波等离子除胶机BE AND GLASS，M JT，J. MATER。 RES。 4 (2) (1989): 373-384] 4.偏置电压增强成核：在微波等离子体化学气相沉积中，衬底通常是负偏置的。换言之，基板的电位低于等离子体的电位。负偏压的作用是增加衬底表面附近的离子浓度。
