在等离子体清洗过程中，聚酰胺对尼龙膜的附着力以功率、时间和清洗次数为工艺变量，发现了特定芯片聚酰亚胺钝化膜起皱和电性能变化的现象。明确了控制措施，有效地指导了混合集成电路的等离子体清洗。等离子体清洗对钝化膜形貌的影响。在线等离子清洗采用自动清洗模式，等离子清洗后，装置表面干燥，无需再次处理，可提高整
