电晕清洗作为一种先进的干洗技术，电晕放电处理方法具有环保等特点。随着微电子工业的迅速发展，电晕也越来越多地应用于半导体行业。半导体污染杂质与分类半导体制造中需要一些有机和无机物。此外，由于工艺始终由人在洁净室进行，半导体晶圆不可避免地受到各种杂质的污染。根据污染物的来源和性质，大致可分为颗粒物、有机
