50在0到800℃之间的温度下，BGA等离子蚀刻机催化活性几乎没有影响。当反应温度超过800℃时，Y-Al2O3转化为δ-Al2O3，反应活性降低。等离子等离子耦合铝线等离子活化工艺研究等离子等离子耦合铝线等离子活化工艺研究：等离子活化工艺广泛应用于电子、生物医药、珠宝制造和纺织等众多行业。应根据行
