国内单位在铝线键合前使用等离子清洗后，电泳层附着力键合良率提高了 10%，键合强度一致性也提高了。。1.等离子蚀刻在等离子蚀刻的过程中，被蚀刻的材料在处理气体的作用下变成气相（例如，如下图所示，使用氟气蚀刻硅时）。工艺气体和基体材料由真空泵抽出，表面不断被新工艺气体覆盖。蚀刻部分不希望被材料覆盖（例
