例如，乙醚和氯仿那个亲水性强氧等离子体具有很强的氧化性，与光发生反应产生气体，具有清洁作用；腐蚀；气体等离子体。体积各向异性强，能满足刻蚀需要。等离子处理之所以称为辉光放电处理，是因为它会发出辉光。等离子体清洁机制主要依靠等离子体中活性粒子的“活化”来达到去除物体表面污垢的目的。从反应机理来看，等离
