从而提高了器件的饱和导通电流，亲水性材料大全提高了器件的电学特性。对HEMT中AlGaN表面进行适当条件的氧等离子体处理，可以有效降低器件阆值电压，提高器件饱和区电流，也提高了器件大跨导，可有效地应用于高性能GaNHEMT器件的制备应用中。。plasma清洗设备等离子表面处理机应用大全：预处理&md
