下列物质以等离子体状态存在:高速运动的电子;处于激活状态的中性原子、分子、自由基;电离的原子和分子;未反应的分子、原子等，电感耦合等离子体质谱仪中标公告但物质整体上保持电中性。在真空室中，射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，通过等离子轰击清洗产品表面。达到清洗的目的。一般来说，清洗/蚀刻意味着
