反应性基团与蚀刻材料的表面发生化学反应，等离子体的心通道温度为形成挥发性反应产物。分离反应产物。从要蚀刻的材料表面，通过真空系统将其从空腔中拉出。在平行电极等离子体反应室中，待蚀刻的物体放置在小面积电极上。在这种情况下，等离子体和电极之间产生直流偏压，带正电的反应气体离子加速并碰撞。被蚀刻材料的表面
