广东芳如达科技有限公司 2022-11-29 19:28:37 111 阅读
硅锗沟槽界面对等离子清洗设备蚀刻后Sigma沟槽形状和硅锗外延生长的影响:众所周知,天津等离子清洗机设备品牌在等离子清洁器中对硅进行干法蚀刻过程中会产生大量的聚合物副产物。设备。密集区域的高反应总量使副产物更容易聚集。在图案化硅实验中,紧密图案化区域中的厚蚀刻副产物导致比稀疏图案化区域更浅的深度。这种深度差异在 TMAH 掩埋工艺之后变得更加明显,甚至可能阻止正常形状的 sigma 型硅沟槽的形成。
等离子处理系统通过在密闭容器中设置两个电极产生电场来产生等离子,天津等离子体清洗机品牌并使用真空泵达到一定的真空度。稀有分子间距和分子或离子的自由运动距离正在增加。在电场的作用下,它们碰撞形成等离子体。这些离子非常活跃,它们的能量足以破坏几乎所有的化学键。表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性质。例如,氧等离子体具有很强的氧化性,它会氧化光并反应产生气体,从而实现清洁效果。
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五。案例总结: 1)GM-2000型,天津等离子清洗机设备品牌速度1m/min~10m/min,喷头高度8~12mm,产量550W到0W,各种情况混用,加工效果极小; 2)PM-G13A机型,情况与GM-2000机型类似,加工效果微乎其微; 3)从GD-5真空吸尘器正面等离子吸尘器测试的经验,知道它很难处理,所以我们直接用氩气和氧气连接测试。混合比为10:1,流量为0.1NL/MIN至1.0NL/MIN。
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充放电低压真空等离子清洗机必须采用独特的高频电缆。高频电缆采用高纯T2无氧紫铜镀金加工而成,具有传输数据信号平稳、传输速度快、绝缘层耐高温、延展性好、双向屏蔽掉层的优点和抗干扰能力强等特点。假使使用劣质的高频电缆,就会危害机器设备的实际充放电效果。5、大气常压等离子清洗机内部电缆。大气常压等离子清洗机选用耐高压耐高温硅橡胶电缆。具有良好的绝缘强度、耐高温、耐高压性能,且材料柔软。
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