微波谐振腔是MPCVD器件的核心部件。射频电晕发生器不同的微波谐振腔结构会影响电场的强度和分布，流延膜电晕处理装置从而影响电晕状态，并对金刚石沉积的质量和速率产生相应的影响。研究MPCVD装置中微波谐振腔的结构对金刚石生长有一定的参考价值。MPCVD法金刚石生长常用的谐振腔有不锈钢谐振腔和石英钟罩。
