硅锗沟槽界面对等离子清洗设备蚀刻后Sigma沟槽形状和硅锗外延生长的影响：众所周知，天津等离子清洗机设备品牌在等离子清洁器中对硅进行干法蚀刻过程中会产生大量的聚合物副产物。设备。密集区域的高反应总量使副产物更容易聚集。在图案化硅实验中，紧密图案化区域中的厚蚀刻副产物导致比稀疏图案化区域更浅的深度。这
