由于等离子体产生的辉光放电是真空紫外光，高达喷漆附着力差怎么解决其对蚀刻率有十分积极的影响，气体中包含中性粒子、离子和电子。中性粒子和离子温度102K-103K，电子能量对应的温度高达105K，被称为“非平衡等离子体”或“冷等离子体”，表现为电中性（准中性）；气体所产生的自由基和离子活性很高，其能量
