只有在加入侧墙保护层生成气体氧气之后，安徽实验室低温等离子表面处理机性能 真正的各向异性蚀刻才可以达成。另外，有报道说在很多低温等离子体蚀刻过程中，等离子表面处理机离子轰击才是决定性因素，这主要是因为降低反应温度可以有效减慢表面化学反应。 等离子表面处理机低温反应中应用SF6/O2连续等离子体蚀刻硅
