1）电晕脱胶反应机理：氧气是干式电晕脱胶技术中的首要腐蚀气体。真空电晕脱胶机反应室在高频和微波能量作用下，国产电晕电晕处理机厂家电离生成氧离子、自由氧原子O*、氧分子和电子的电晕，其间氧化能力强的自由氧原子（约10-20%）在高频电压作用下与光刻胶膜发生反应:O2-Rarr；O*+O*，CxHy+O
