当电源启动时，亲水性信号转导系统产生等离子体，然后将气体引入反应室，使室中的等离子体成为反应等离子体。这些等离子体与样品表面反应产生挥发性副产物，由真空泵抽出。真空离子清洗机由真空产生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空室休息、机械设备等部件组成，可根据客户的特殊要求定制满足真空系统、真空室的需要
