PLASMA等离子表面处理垫圈预处理技术在晶圆上的应用：晶圆引线连接质量是影响器件可靠性的重要因素，纳米二氧化铈亲水性能引线连接区域干净，连接效果有保证。一定要好。氧化物和有机残留物等污染物的存在会显着降低引线连接的拉力值。传统的湿法清洗不能完全去除或去除键合区的污染物，而等离子清洗可以有效地去除键
