惯例是5kW到20kW。激发频率为 13.56 MHz 的等离子体是一种产生物理和化学反应的高频等离子体。最常用的电源的特点是等离子体能量低但等离子体密度高。效果均匀，如何增强模型上漆的附着力成本稍高。惯例是瓦到 0 瓦。激发频率为 2.45 GHz 的等离子体是微波等离子体，产生的反应是化学反应。
