超声波等离子的自偏压在1000V左右，半导体plasma刻蚀机器高频等离子的自偏压在250V左右，而微波等离子的自偏压很低，只有几十伏，三种等离子的机理不同.超声波等离子体产生的反应是物理反应，高频等离子体产生的反应既是物理反应又是化学反应，微波等离子体产生的反应是化学反应。射频等离子清洗和微波等离
