随着高新技术产业的快速发展,手机中框等离子体蚀刻设备等离子体技术已广泛应用于科技和国民经济的各个领域,对人们使用的产品技术要求越来越高,等离子体表面处理技术的出现,不仅提高了产品的性能,提高生产效率,更好的实现安(满)环保效果。因此,在新能源、新材料、手机制造、半导体、生物医学与航天高分子科学、生物