利用化学气相沉积(HDPCVD)制备高密度电晕源（如电感耦合电晕(ICP)、电子回旋共振电晕(ECR)或螺旋波电晕（helicon））,激发含硅烷、氧气和氩气的混合气体。以衬底为阴极，电晕机是干啥的电晕中的高能正离子会被吸引到晶体表面，然后氧与硅烷反应生成氧硅烷，通过氩离子溅射将氧硅烷去除。印刷线制
