2)将用于等离子体清洗的气体引入真空室，丝网印刷碳电极表面改性保持真空室压力稳定。根据不同的清洗材料，可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟碳等气体。3)在真空室中施加高频电压于电极与接地装置之间，使气体被击穿，并由辉光放电而发生等离子体电离，让在真空室中产生的等离子体完全包裹被加工工件，开始清洗，
