只要对样品表面进行处理，等离子刻蚀polymer如何产生等离子清洗通常在 2S 内即可见效。结合原有生产线，可实现全自动化在线生产，节省人工成本。加工效果稳定。等离子清洗效果非常均匀稳定，常规样品的长期保留效果好。真空等离子处理系统设备参数：射频功率（RF power）：600W/13.56MHZ。
