反应室中的气态辉光放电包括离子、电子、自由基等活性物质的等离子体,怎样增加烤漆的附着力通过扩散吸附到介质表面,与介质表面的原子发生化学反应,形成挥发性物质。同时,高能离子在一定的压力下对介质表面进行物理轰击和刻蚀,去除重沉积的反应产物和聚合物。通过化学和物理相互作用来完成介质层的蚀刻。其中,怎样增加