选择40kHz超声波等离子体和适当的反应气体可以有效去除胶体残渣、金属毛刺等，胶子等离子体由于40kHz是较早的技术，射频匹配后的能耗太大，实际应用于清洗材料的能量不到原来的1/3。因此，实践中多采用13.56MHz射频等离子清洗，这也是国际上最流行的频率。2.4G微波等离子体多用于一些有特殊需要的
