将待处理的固体表面或待聚合的基底表面置于放电环境中,二氧化钛膜亲水性丧失原因用等离子体处理。由于低压等离子体是冷等离子体,当压力在133~13.3Pa左右时,电子温度高达00on,而气体温度只有300on,不会烧坏衬底,有足够的能量进行表面处理。 低压等电离器已广泛应用于等离子体聚合、薄膜