2、表面蚀刻经过等离子体处理后，等离子增强化学气相沉积材料表面的一些化学键断裂，使材料表面变得不平整，会增加粗糙度。表面活化在等离子体的作用下，材料表面会出现一些活性原子、自由基和不饱和键。这些活性基因会与血浆中的颗粒发生反应，从而达到表面活化的效果。等离子体表面活化剂在半导体领域的应用:1、陶瓷封
