与传统的湿法清洁工艺相比，培养皿plasma表面清洗器这会降低总体成本。此外，还消除了晶圆表面光刻胶不准确、清洗不彻底、湿法容易引入杂质等缺陷。它不需要有机溶剂，不污染环境。一种低成本的绿色清洁方法。作为干洗等离子清洗机，可控性强，一致性好。摄影不仅可以完全去除有机物，还可以激活和粗糙化晶圆。等离子
